newport IMS-LM 線性電機(jī)平移臺(tái)具有zui長(zhǎng)的行程長(zhǎng)度和線性電機(jī)，在提升速度和平順性的同時(shí)，保留了堅(jiān)硬的鋁制機(jī)身和堅(jiān)固耐用的組件，可在高占空比應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)亞微米分辨率。 特點(diǎn): 1.非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高可靠性
2.鐵芯線性電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)快速和可重復(fù)定位
3.高分辨率線性編碼器，可用于亞微米級(jí)重復(fù)性和 20 nm MIM
4.為剛性 XY 組件而設(shè)計(jì)的剛性主體，行程可達(dá) 600 x 600 mm
5.帶籠式滾珠的循環(huán)軸承能夠確保靜音運(yùn)動(dòng)
6.即插即用的 ESP 控制器兼容性 M-IMS1000LM-S線性平臺(tái)適用于1000毫米行程的自支撐應(yīng)用。該舞臺(tái)具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和低成本的高性能，使其成為精密工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的高性價(jià)比解決方案。IMS采用FEM優(yōu)化的擠壓鋁制主體，以避免彎曲效應(yīng)或負(fù)載下的撓曲。線性電機(jī)采用中心率的三相同步鐵芯，直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)元件，提供高速，高加速度和高系統(tǒng)響應(yīng)能力。IMS系列平臺(tái)非常適用于許多精密工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)，微電子測(cè)試和裝配，DNA測(cè)序或激光加工。
行程范圍：1000毫米
zui大速度：1000毫米/秒
zui小位移增量：0.020微米
電機(jī)持續(xù)驅(qū)動(dòng)力：100 N
峰值驅(qū)動(dòng)力：210 N
中心負(fù)載：600 N
精度典型值： ±4.0μm
精度保證值： ±9.0μm
雙向重復(fù)精度典型值： ±0.12μm
雙向重復(fù)精度保證值： ±0.50μm
俯仰典型值：±112μrad
俯仰保證值：±225微弧度
俯仰順應(yīng)性：0.2μrad/ N·m
偏擺典型值：±40μrad
偏擺保證值：±150μrad
偏擺順應(yīng)性：1μrad/ N·m
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性：1μrad/ N·m
編碼器分辨率：1 Vpp 20μm間距
限位開(kāi)關(guān)：光纖
原點(diǎn)：光學(xué)居中
原點(diǎn)重復(fù)精度：±0.05μm
螺紋類型：M6
重量：28公斤
MTBF：20,000小時(shí)（25％負(fù)載，30％占空比）
RoHS指令：合規(guī) |
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