保持Parker不銹鋼隔膜閥的高壽命需要注意哪幾點(diǎn)?Parker不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性,高循環(huán)壽命,及低的粒子生成,從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用.適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用,包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門(mén)分配箱系統(tǒng)。 945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動(dòng)或氣動(dòng)操作。這兩個(gè)選項(xiàng)都是內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì),這使顆粒產(chǎn)生和捕獲小化,從而減少了過(guò)程污染。閥門(mén)的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片的應(yīng)力,提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。該閥還具有*的壓縮構(gòu)件,其均勻地加載密封件,而不需要螺紋部件或壓接操作,所有945個(gè)系列不銹鋼隔膜閥門(mén)都是在100級(jí)潔凈室制造的。內(nèi)部(閥座)密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測(cè)試,以確保在要求UHP超高純應(yīng)用環(huán)境的使用性能和可靠性。 945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造,以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門(mén)本體是由Veriflo的專有的內(nèi)部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成。膜片是一種高強(qiáng)度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE,PEEK™ 或Vespel® 這些選項(xiàng)中選擇,這允許945系列用于廣泛的危險(xiǎn)和惰性工藝流體。這些材料,結(jié)合閥門(mén)嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),在工作壓力高達(dá)3500 psig時(shí),具有*的耐腐蝕性和優(yōu)良的可靠性。氣動(dòng)選項(xiàng)可以配置為提供具有極限開(kāi)關(guān)的開(kāi)閉位置指示。 市場(chǎng)應(yīng)用: • 半導(dǎo)體生產(chǎn) • 分析實(shí)驗(yàn)室 • 藥物分析,生產(chǎn) • 生物危害 • 航空航天 • 工業(yè)生產(chǎn) 特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì): • 在管材上加工,這允許改進(jìn)尺寸控制。 • 5微米(Ra)電拋光表面光潔度 • 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性應(yīng)用工況) • 內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲小化 • 全功能化設(shè)計(jì)從真空到300psig可用 • 內(nèi)部泄漏率:小于1×10-9 SCC/SEC • 外部泄漏率:小于2×10-10SCC/SEC • 75 PSIG常開(kāi)常關(guān)氣動(dòng)AOP執(zhí)行壓力(大值) 典型應(yīng)用: • 腐蝕性和特殊性氣體 • 半導(dǎo)體設(shè)備 • 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管 • 氣體控制柜 • 閥門(mén)分配箱系統(tǒng)(VMB) |