產(chǎn)品美國(guó)Brooks熱質(zhì)量流量控制器GF135的流量范圍為3 sccm至5 slm，精度為±1％SP。耐腐蝕的哈氏合金傳感器具有的長(zhǎng)期傳感器穩(wěn)定性，可確保大的產(chǎn)量。與其他質(zhì)量流量控制器相比，GF135的響應(yīng)和建立時(shí)間快3倍。專為半導(dǎo)體蝕刻，薄膜和其他高級(jí)工藝的下一步而設(shè)計(jì)氣體控制應(yīng)用中，GF135結(jié)合了大多數(shù)優(yōu)良的壓力瞬變不敏感質(zhì)量流量控制器（MFC）并增加了實(shí)時(shí)性具有高級(jí)診斷功能的流量錯(cuò)誤檢測(cè)。器件制造商正在推動(dòng)提高晶圓級(jí)成品率的計(jì)劃。目前下游質(zhì)量控制方法可以處理數(shù)百個(gè)晶圓在檢測(cè)到問題之前。工藝氣體的穩(wěn)定性和可重復(fù)性已確定為對(duì)于提高產(chǎn)量目標(biāo)和MFC精度至關(guān)重要。對(duì)于維持過(guò)程控制至關(guān)重要。GF135提供第三代壓力瞬變不敏感，市場(chǎng)工藝氣體的準(zhǔn)確性和超快速的流沉降時(shí)間，從而縮短了工藝周期和滿足高級(jí)3D設(shè)備處理要求。該平臺(tái)還提供使用腐爛率（ROD）技術(shù)的未決實(shí)時(shí)流量誤差趨勢(shì)不受典型MFC故障/降級(jí)模式的影響，確保準(zhǔn)確可靠診斷功能。在工具啟動(dòng)時(shí)建立基線后，GF135可以檢測(cè)流量變化在設(shè)定點(diǎn)的2％以內(nèi)。這些高級(jí)診斷功能提供了從下游質(zhì)量控制到實(shí)時(shí)質(zhì)量的轉(zhuǎn)變確保和預(yù)測(cè)性維護(hù)，從而提高產(chǎn)量并延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。

產(chǎn)品描述
帶有集成的實(shí)時(shí)ROD流量錯(cuò)誤檢測(cè)功能的GF135成為標(biāo)準(zhǔn)配置超高純度表面貼裝或VCR®MFC封裝，提供輕松升級(jí)的途徑現(xiàn)有系統(tǒng)上的關(guān)鍵氣體管線。使用GF135，用戶將能夠利用增強(qiáng)的工藝氣體精度，市場(chǎng)的壓力瞬態(tài)性能和MFC健康指標(biāo)等作為傳感器穩(wěn)定性和閥門關(guān)閉（泄漏）的自動(dòng)趨勢(shì)。 使用這些
運(yùn)行狀況指示器和用戶可編程的警報(bào)限值，通過(guò)MFC服務(wù)端口或遠(yuǎn)程數(shù)字命令，用戶可以建立限制以提高產(chǎn)量和/或管理維護(hù)計(jì)劃以蕞大化正常運(yùn)行時(shí)間。

特征
實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)
傳感器穩(wěn)定性跟蹤
閥門漏氣跟蹤
3 sccm至5 slm的流量范圍
流量精度：
±1％SP（10-100％FS）
±1％SP加上±0.04％FS（2-10％FS）
大工作壓力100 psia
常閉閥
耐腐蝕哈氏合金傳感器
10至50°C（50至122°F）的工作溫度

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)通過(guò)捕獲晶圓影響流量偏差來(lái)支持良率提高計(jì)劃
傳感器穩(wěn)定性跟蹤通過(guò)支持預(yù)測(cè)性維護(hù)來(lái)改善系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間
通過(guò)跟蹤閥門泄漏，允許用戶監(jiān)控和設(shè)置極限，以蕞大程度地減少*晶圓影響
提高工藝氣體精度應(yīng)對(duì)10nm的工藝氣體化學(xué)控制挑戰(zhàn)
市場(chǎng)的超快速流沉降時(shí)間，通過(guò)減少非生產(chǎn)性的流穩(wěn)定步驟，優(yōu)化了晶圓處理周期時(shí)間。
支持高級(jí)3D設(shè)備處理
增強(qiáng)的壓力不敏感性出色的工藝氣體控制，可增強(qiáng)蝕刻和沉積控制
耐腐蝕的Hastelloy®傳感器提供的長(zhǎng)期傳感器穩(wěn)定性，確保大的產(chǎn)量和產(chǎn)量
用于表面安裝和VCR MFC的即插即用升級(jí)輕松升級(jí)現(xiàn)有系統(tǒng)上的關(guān)鍵氣體管線

產(chǎn)品美國(guó)Brooks熱質(zhì)量流量控制器GF135

實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)
流量傳感器中過(guò)程污染物的堆積導(dǎo)致更高的超過(guò)指示的實(shí)際流量。過(guò)程中污染物的積累限流器導(dǎo)致低于指示的實(shí)際流量。處理閥孔或閥座上的污染物導(dǎo)致泄漏超過(guò)閥。所有這些情況都可能導(dǎo)致晶圓損失和成本下降數(shù)千。使用標(biāo)準(zhǔn)MFC時(shí)，這些錯(cuò)誤不能在不停止生產(chǎn)以進(jìn)行流量檢查的情況下進(jìn)行檢測(cè)。的
GF135擁有正在申請(qǐng)專LI的實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)和使用不受干擾的衰減率（ROD）技術(shù)進(jìn)行趨勢(shì)分析典型的MFC故障/降級(jí)模式可確保準(zhǔn)確且可靠的診斷功能。在工具建立基線之后啟動(dòng)時(shí)，GF135可以檢測(cè)流量，漂移和泄漏率的變化。安裝GF135后，調(diào)試程序?qū)?chuàng)建一個(gè)實(shí)際過(guò)程條件下的性能基準(zhǔn)。晶圓期間
處理時(shí)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)進(jìn)行流量錯(cuò)誤檢測(cè)在每個(gè)新的過(guò)程設(shè)定點(diǎn)讀取讀數(shù)并將結(jié)果與基線。專有的ROD測(cè)量技術(shù)暫時(shí)停止從工具向上游輸送氣體保持流向處理室處的流量請(qǐng)求的流速。高精度的壓力測(cè)量是當(dāng)氣體從入口容積中耗盡時(shí)進(jìn)行優(yōu)良的信號(hào)處理算法可計(jì)算出ROD流量即時(shí)的。在流程流受到影響之前壓力減小，上游供應(yīng)重新建立不會(huì)干擾輸送的流量。通過(guò)計(jì)算流量晶圓加工過(guò)程中的各種設(shè)定點(diǎn)，MFC檢測(cè)到任何傳感器或旁路堵塞。它還檢測(cè)傳感器偏移量是否為由于堵塞和漂移的影響明顯而發(fā)展自己在不同的設(shè)定點(diǎn)上有所不同。相同的方法是當(dāng)MFC的設(shè)定值為零來(lái)計(jì)算閥門泄漏時(shí)使用。這使MFC能夠測(cè)量零偏移。 MFC可以報(bào)告閥門泄漏，傳感器偏移和通過(guò)工具向工具的流量偏移記錄的接口協(xié)議，如果有，還可以自動(dòng)更正用戶啟用該功能。后，MFC將這些數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為一年，并且可以使用歷史數(shù)據(jù)報(bào)告更改。通過(guò)提供對(duì)流量變化的自動(dòng)監(jiān)控，GF135能夠?yàn)橛脩籼峁┚膶?shí)時(shí)警告影響流量偏差。

超快速反應(yīng)
通過(guò)結(jié)合Brooks的專li流量傳感器技術(shù)與
高速ARM處理器和速動(dòng)隔膜無(wú)閥
GF系列組裝后的響應(yīng)速度提高了3倍
和其他質(zhì)量流量控制器相比，建立時(shí)間
啟用：
•通過(guò)減少非生產(chǎn)流來(lái)提高晶圓產(chǎn)量

解決步驟
•關(guān)鍵的蝕刻和3D設(shè)備工藝需要超快速的分流
500毫秒蝕刻步驟
•減少轉(zhuǎn)移的氣體消耗量和相關(guān)的
減排成本
•原子層沉積（ALD）中對(duì)時(shí)間敏感的氣體輸送步驟
•需要緩慢開啟或開啟氣體的過(guò)程
用戶流量之間的關(guān)鍵轉(zhuǎn)換
可編程斜坡功能